根據現在最常用的矽單晶直拉（lā）法減壓拉晶工藝，真空係統一般都配備滑閥式真（zhēn）空泵。但隨著大直徑、重摻雜等特（tè）殊要求的矽單晶需求量的（de）增加，對單晶爐設（shè）備的要求也越來越高，采用滑閥式真空泵的缺（quē）點也日益顯現。為了提高生產效率，降低（dī）成（chéng）本，也為了保證器件參數的一致性、可靠性，都希望（wàng）直拉單（dān）晶大直徑化，設備控製高（gāo）度自動化，從抽空到拉晶結（jié）束（shù）全部自動化（huà）控製，且穩定性、可靠（kào）性極好的大型直拉單（dān）晶（jīng）設備。為了（le）提高單晶的內在質量或者某方麵參數的（de）特殊要求，香蕉污视频通過（guò）改造真空係統，將水環式真空泵應用在直拉單晶爐設備上，以提高直拉（lā）單晶爐的整體（tǐ）性能。下麵跟（gēn）著小（xiǎo）編一起來（lái）了解改造好的真空係統在直拉單晶爐上的應用有什麽變化吧。

直拉單晶爐，包括爐體（tǐ），爐體包括爐座和爐腔，爐腔（qiāng）設置在爐座上，爐體內設有加（jiā）熱裝置和直拉成型裝置，加熱裝置包括石英坩堝、石墨坩堝、加（jiā）熱器和石墨電（diàn）極，石（shí）墨坩堝包裹（guǒ）在石英坩堝的外側，加熱器（qì）設置（zhì）在石墨坩堝的外側，石墨電極設置在加熱器的底端，直（zhí）拉成型裝（zhuāng）置包括豎直設置的籽晶軸和坩堝軸，籽晶軸設置在石英坩堝的上方，坩堝軸設置在石英坩堝的底部，籽晶軸的上方設有與籽晶軸相連（lián）接的籽晶（jīng）軸驅動裝置（zhì），坩（gān）堝軸的底部設有坩堝軸驅動裝置。

滑閥泵是用油來保持密封的機械真空泵的，由於它的滑閥環與泵腔有（yǒu）一定間隙，兩者不接觸（chù），可抽含有微小塵埃（āi）的氣（qì）體。在單晶正常生長（zhǎng）過程中，滑閥泵將會帶走由於高溫而產生出來的矽氧（yǎng）化物和（hé）雜質揮發物，這些雜質大部分會進入泵腔（qiāng），與（yǔ）真空泵油混合在一起。由於矽單晶生長時間比較漫長（zhǎng），特別是大直徑的矽單晶生（shēng）長時間更長，隨著時間的增加，真空泵油裏的（de）雜質也越積越多，從而使真空泵油的黏稠度也越來越大，導致真空泵負（fù）荷增大（dà），抽速下降，嚴重的會（huì）造成真空泵不能正（zhèng）常工（gōng）作。因此需要定期更換真空泵（bèng）油，這樣做還可延長真空泵壽命。但頻繁的更換真空泵（bèng）油，不但維護費用高而且在一個拉晶工藝過程中是無法實現的。特別是在拉重摻砷等劇毒摻雜元素的矽單晶時，有一部（bù）分砷等劇毒元素（sù）融入真空泵油中（zhōng），使得真空泵的維（wéi）護更加困難，含有砷等劇毒摻雜元素的真空泵油（yóu）處理是件很棘手的事。

針對上述的問題，改進（jìn）後的真空（kōng）係統在直（zhí）拉單晶（jīng）爐上的應（yīng）用，既可以使用水環泵作為主（zhǔ）泵，也可當旁路（lù）真（zhēn）空球閥關閉（bì）的時候，使用滑閥泵作為主（zhǔ）泵（bèng），滿足不同拉晶工藝（yì）的需要。當使用水環泵作為主泵時，正常拉晶產生的矽氧化物和雜質揮發物都被抽到了水環泵裏，溶（róng）於水環（huán）泵的水中，水環泵的水不斷地循環更新，確保了水的清潔，使得水環泵能正常工作，不會（huì）因為拉晶時間太長，影（yǐng）響水環泵的工作性能，從而維持正（zhèng）常抽（chōu）速，保證爐膛內（nèi）的真空度穩定。排出的水經過處理還可以重複使用，這樣不但維護（hù）方便而且費用低，特別是拉重摻砷等劇毒（dú）摻雜元素的（de）矽單晶時，砷等（děng）劇毒摻雜元素融入水中後比較（jiào）容易被（bèi）分離收集（jí），減少對環境影響。