進口真空泵維修廠家表示真（zhēn）空係統的日常維護（hù）十分重要，可避免在出現故障時手足（zú）無措、並能盡快排除（chú）故障使設備正（zhèng）常運轉。東莞市普諾（nuò）克真空科技有限公（gōng）司通過以下內容對真（zhēn）空係統的主要部件維（wéi）護作簡單的介紹，同時，針對真空係統出現故障情況分（fèn）析其原因以及（jí）真空泵維（wéi）修之真空係統故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進行參考（kǎo）一下的。

真空泵維修一：真空係統的主要部件及維護（hù）方法

1、旋轉泵：要（yào）定期檢（jiǎn）查旋轉泵的油（yóu）平麵，及時補充油確（què）保泵運轉正常（cháng）。泵皮帶用久（jiǔ）後容易打滑（huá），可適量加些皮帶脂或稍調節皮帶鬆（sōng）緊度，可延長（zhǎng）皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能好壞是決定電鏡（jìng）獲得（dé）高真空的關鍵，而影響擴散泵性能的主要原因是油質的下降和油（yóu）量（liàng）的減少（shǎo）為（wéi）了減少擴散泵油的揮發和碳化，平時儀器要定（dìng）期（qī）抽真空，換樣品（pǐn）時盡量減少樣（yàng）品室在（zài）大氣（qì）中停留的時間，關機（jī）後一般要（yào）十分鍾後才停冷卻水；有條件的冷卻最好（hǎo）采用循環水箱（xiāng）和（hé）去離子（zǐ）水（shuǐ），以減（jiǎn）少水垢的形成，保持冷卻性能；擴散泵油在正常情況（kuàng）下可連（lián）續使用十年。

真空泵維修二：真（zhēn）空係（xì）統故障原因

（1）低真空正常，高真空上不去。儀（yí）器在正常使用中光柵（shān）突（tū）然出（chū）現閃爍，立（lì）即關高壓後控（kòng）製麵（miàn）板指（zhǐ）示（shì）燈除 POWER亮，其餘都熄滅，真空度下降。數分鍾後用控（kòng）製麵板上的檢測器測真空度（dù）（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真空主（zhǔ）閥啟動的聲音。查K板PD、HVAC指示燈熄滅，抽真空程（chéng）序不能（néng）正常進行。從故障現象看（kàn）引起（qǐ）儀器不正常的原因是：擴散泵工作不正常；計算機真空控製部分失控。

（2）儀器自（zì）動關機，處於保護狀態：一開機（jī） POWER指示燈亮，機械泵響聲正常，15分（fèn）鍾左（zuǒ）右擴散泵（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指（zhǐ）示燈滅，馬（mǎ）上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然後儀器自動關機處於保護狀態。引起此（cǐ）故障的原因有（yǒu）下列幾種情況：a.主電（diàn）源電壓不正常；b.真空係統不正（zhèng）常； c.高壓電路故（gù）；d.計算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真空係統故障排除方法

（1）檢查發（fā）現進出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴（kuò）散泵有餘熱（rè），估計是加熱器或加熱電路有問題，測加熱電路正常，拔（bá）下加熱器（qì）插頭，測二端電阻為（wéi）∞，說明擴散泵加熱（rè）器損（sǔn）壞，換上加熱器真空係統恢複正常。

（2）經檢查發現故障（zhàng）是擴散泵冷（lěng）卻水溫度檢（jiǎn）測器損壞造起，更換溫度（dù）檢測器後故障排出。

要保持真（zhēn）空係統的良好性能，必須（xū）保證係統的暢通清潔，首先（xiān），做（zuò）好儀器的使用（yòng）狀況和維護（hù）記錄（lù），每次開機（jī）都要注意查看儀器運（yùn）轉是否正常。這就（jiù）是真空（kōng）泵維修之真空係統故障（zhàng）排除最（zuì）佳的方法，而且減少後續的人力物力財力。隻需要在使用（yòng）的過程中花（huā）費一點點時間進（jìn）行檢查，真（zhēn）空係統運行的時候就可以有一點保障了。