真空係統在掃描電鏡中的應用，掃描電鏡被廣泛的應用在半導體（tǐ）、實驗室等領域。掃描電鏡也是（shì）借（jiè）助高真空（kōng）係統。電鏡的高真空係統是有分子泵和前級泵組成，分子泵一般采用脂潤（rùn）滑或磁懸浮的分子泵，前級泵是采用雙級油旋片真空泵，或無油渦旋泵（bèng）作為前級泵。前級泵是輔助分子泵運行的，前級泵（bèng）先（xiān）將腔體抽到（dào）10pa以後再啟動分子泵。分子泵啟動後再將係統抽到-3pa~-4pa左右。

掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代（dài）作（zuò）為商用電（diàn）鏡麵世以來迅速發展起來的一種新型（xíng）的電子光學（xué）儀器，被（bèi）廣泛地應（yīng）用於化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體製造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。

在材料領域中，掃描電鏡（jìng）技術發揮著極其重要的（de）作（zuò）用，被廣泛應用於各種材料的（de）形態結構、界麵狀況、損傷機製及材料性能預測等方麵的研究。利用（yòng）掃描電（diàn）鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方（fāng）式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查（chá）晶體在表麵機械加（jiā）工中引起的損傷和（hé）輻射損傷等。

真空係統在掃描電鏡中（zhōng）具有什麽產品特點呢？

應（yīng）用於掃描電鏡的真空係統具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像的分辨率高（gāo）、景深大、保真度高、有真實的三（sān）維效應等特點，對於導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對於導電性差或絕緣的樣品則需要（yào）噴鍍導電層。

真空係（xì）統主要包括真空（kōng）泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱（zhù）形容器。真空泵用（yòng）來在真空柱內（nèi）產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵（bèng）加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍（qiāng）的掃描電鏡的真空要求，但對於裝置了場致發射槍（qiāng）或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪分子（zǐ）泵的組合。成象（xiàng）係統和電子束係統均內置在真空（kōng）柱中。真空柱底端即為（wéi）右圖（tú）所示的樣品室，用於放置樣品。

掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路係統兩部分。鏡體部分由電（diàn）子光學係統、信（xìn）號收集（jí）和顯示係統以及真空抽氣係統（tǒng）組成。東莞真（zhēn）空係統（tǒng）的作用是為保證電子光學係統正常工作，防止樣品汙染，一般情（qíng）況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

掃描電鏡需要真空的原因包括：一是電子束係（xì）統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大（dà）電子的平均自由程，從而（ér）使得用於（yú）成象的電子更多。

香蕉污视频真空係統在掃描電鏡中的應用，能（néng）夠靠電子束掃描物體表麵來成像的。空氣的存在會使的電子束變型，影響掃描效果，因此需要使用到真空係（xì）統抽真空。如果對香蕉污视频（kè）真空係統感興（xìng）趣的話（huà），都（dōu）可以撥（bō）打我司的客戶熱線。